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国内首台自主研制的直写式光刻机 合肥问世
中国网 china.com.cn  时间: 2007-12-27  发表评论>>

国内首台自主研制的直写式光刻机 合肥问世

 

12月25日,国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。新华社供图(科学时报)

文章来源: 中国网 责任编辑: 叶子
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